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超聲波清洗機(jī)超聲能量計(jì)
在微電子、半導(dǎo)體等高技術(shù)產(chǎn)品的精細(xì)清洗過(guò)程中，控制在清洗槽中的聲能水平是很重要的一環(huán)。過(guò)高的能量會(huì)損壞清洗元件，過(guò)低則達(dá)不到洗凈目的。美國(guó)ppb公司自1996年開(kāi)始生產(chǎn)超聲能量計(jì)并用于超聲清洗過(guò)程的控制。
①原理
采用壓電晶體接收聲能，壓電接收器的頻率響應(yīng)在20 kHz到幾MHz范圍內(nèi)是乎直的，輸出信號(hào)為各個(gè)諧波的疊加，然后求出復(fù)雜波形的有效值(RMS值)，此值用DC輸出作數(shù)碼顯示，不是求平均值。
②結(jié)構(gòu)
探頭是一種半球形的外殼，材料是乙烯反內(nèi)烯(EPDM)，窗口透鏡用石英做成。在半球殼的45。方向上裝有管子，管子材料用316不繡鋼，外徑6.35mm，508mm長(zhǎng)，外包Teflon材料。有接頭可與手提儀表連接，也可以直接裝在清洗槽的面板上。
③校準(zhǔn)
在美國(guó)海軍水聲校7S系統(tǒng)中進(jìn)行標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)探頭，然后專門制造帶有一個(gè)40 kIIz換能器的清洗棺，探頭精確固定在槽中的固定位置，將測(cè)量探頭與標(biāo)準(zhǔn)探頭比較，標(biāo)定讀數(shù)。
④應(yīng)用
a．衡量清洗槽中的超聲能量密度(w/m2)。因?yàn)榧词馆斎霌Q能器的功率不變，但是由于清洗液的蒸氣壓及化學(xué)成分的改變，其空化能量會(huì)變化，用此儀器測(cè)量的能量包括空化能量。
b．設(shè)定清洗槽中的能量水平。
c．在不同超聲清洗槽之間建立相同的能量水平
d．測(cè)量檢查超聲清洗槽中的能量分布。
e．可在超聲清洗槽中某一固定位置測(cè)量能量的平均值、最小值、最大值及標(biāo)準(zhǔn)偏差，在LCD顯則s值(w/m2)，所有數(shù)據(jù)可以貯存在l00個(gè)記憶單元中，然后輸出到PC機(jī)中處理，可顯示頻率。
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